Общая информация
Международная конференция «Микро- и наноэлектроника – 2018» (ICMNE-2018), включающая расширенную сессию «Квантовая информатика» (QI-2018), будет проводиться 1-5 октября 2018 в парк-отеле «Ершово», Звенигород, Московская область, Россия. Она продолжает серию Всероссийских конференций «МНЕ-1999», «МНЕ-2001», «КИ-2002» и международных конференций «ICMNE-2003», «QI-2004», «ICMNE-2005», «QI-2005», «ICMNE-2007», «QI-2007», «ICMNE-2009», «QI-2009», «ICMNE-2012», «QI-2012», «ICMNE-2014», «QI-2014», «ICMNE-2016» и «QI-2016».
Конференция ICMNE проводится один раз в два года и охватывает большинство областей микро- и наноэлектронных технологий, а также физики микро- и наноразмерных приборов. ICMNE-2018 будет сконцентрирована на освещении последних достижений в этой сфере. На конференции будет работать выставка, посвященная технологическому и диагностическому оборудованию для микро- и наноэлектронных применений.
В 2018 году в рамках конференции будет организован российско-японский круглый стол с участием ведущих ученых.
Тематика:
Физика микро- и наноразмерных приборов:
- Проблемы и пути масштабирования наноразмерных приборов и интегральных схем.
- Нанотранзисторы: CMOS FET, TFET, SET, молекулярные транзисторы и переключатели и т.д.
- Интегральные устройства памяти: DRAM, ReRAM, FeRAM.
- Приборы с 1D и 2D каналами.
- Углеродная микро- и наноэлектроника.
- Твердотельные приборы для THz генерации и детектирования.
- Магнитные микро- и наноструктуры и приборы, спинтроника.
- Сверхпроводящие микро- и наноприборы и устройства.
- Приборы оптоэлектроники, фотоники.
- Сенсоры, микро- и наноэлектромеханические системы (MEMS, NEMS, BioMEMS).
- Моделирование приборов.
Технология и характеризация материалов для микро- и наноэлектроники:
- Si, SOI, SiGe, A3B5, A2B6.
- High-k, low-k диэлектрики.
- Металлические пленки в приборных структурах УБИС.
- 1D, 2D материалы.
- Магнитные материалы, наномагнетики.
- Материалы оптоэлектроники, фотовольтаики, метаматериалы.
Технологические процессы и перспективное технологическое оборудование микро- и наноэлектроники:
- Литография: иммерсионная, EUV, электронная и ионная литография, наноимпринт.
- Front-End of Line (FEOL) процессы для технологии УБИС.
- Back-End of Line (BEOL) процессы для технологии УБИС.
- Front-End of Line (FEOL) процессы для технологии УБИС.
- Технологии 3D-интеграции интегральных схем.
- Технология 2D материалов и структур для наноэлектроники (графен, MoS2, WS2 и др.
- Технологии 1D структур (нанопровода, нанотрубки).
- Технологии MEMS, NEMS, BioMEMS.
- Технологии изготовления сверхпроводящих приборов.
Метрология:
- Методы диагностики и управления технологическими процессами In situ (End-point детекторы, смарт-сенсоры).
- Методы контроля, диагностики и характеризации микро- и наноструктур.
Квантовая информатика:
- Квантовые компьютеры: теория и эксперимент.
- Квантовые измерения.
- Квантовые алгоритмы.
- Квантовая связь.
Организаторы и спонсоры:
- Физико-технологический институт РАН, Москва, Россия
- АО «НИИМЭ», Зеленоград, Россия
- Российский фонд фундаментальных исследований, Москва, Россия
- Oтделение нанотехнологий и информационных технологий РАН
- SPIE – The International Society for Optical Engineering
- Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН, Новосибирск, Россия
- Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
- Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова, Ярославль, Россия
- TechnoInfo Ltd., Wembley, UK
- Компания НИКС, Москва, Россия
Язык:
Рабочий язык конференции – английский.
Тезисы докладов:
Оргкомитет ICMNE-2018 приветствует доклады, присланные от академического сообщества, университетов, отраслевой науки. Программный комитет будет оказывать предпочтение докладам, содержащим результаты последних оригинальных исследований, соответствующих тематике конференции. Тезисы докладов должны быть написаны ясным и лаконичным английским языком.
Программа конференции будет включать как приглашенные доклады, так и принятые по результатам рецензирования Программным комитетом ICMNE-2018. Рейтинговое рецензирование будет проводиться на основе присланных тезисов докладов с учетом их соответствия тематике конференции и научному качеству представленных результатов. Окончательное решение о форме представления доклада (устной или в виде постера) принимается Программным и Организационным комитетами; пожелания авторов учитываются.
Вы можете скачать шаблон одностраничных тезисов в разделе Скачать сайта конференции. Файлы с тезисами принимаются Локальным оргкомитетом ICMNE-2018 по электронной почте icmne2018@gmail.com.
Теперь вы можете скачать Сборник тезисов.
Труды конференции:
SPIE Digital Library публикует полные тексты докладов в отдельном томе Proceedings of SPIE, представляющем конференцию ICMNE-2018, после окончания конференции.
Авторам необходимо подготовить рукописи полных текстов в размере научной статьи, оформленные в соответствии с правилами для Proceedings of SPIE (указаны в разделе Скачать), и направить их в издательство, используя Author Submission & Chair Review System. Тексты для публикации в SPIE должны быть написаны явным и лаконичным английским языком. Допустимый размер статьи составляет 6-12 страниц.
Последний срок отправки рукописей полных текстов докладов в SPIE – 12 ноября 2018. Необходимо также отправить копии полнотекстовых докладов и заполненные формы SPIE о передаче авторских прав в Локальный оргкомитет ICMNE-2018. Без этого публикация в SPIE будет отклонена.
Поскольку издание Proceedings of SPIE является рецензируемым, доклады, не представленные и не обсужденные на конференции, публиковаться в нем не будут.
