Общая информация
Международная конференция «Микро- и наноэлектроника – 2016» (ICMNE-2016), включающая расширенную сессию «Квантовая информатика» (QI-2016), проводилась 3-7 октября 2016 в д/о «Ершово», Звенигород, Московская область, Россия.
Тематика:
Материалы и пленки для микро- и наноэлектронных структур:
- Si, SOI, DOI, SiGe, A3B5, A2B6
- High-k диэлектрики, low-k диэлектрики
- Металлы для затворов, контактов и систем металлизации наноразмерных приборов
- Магнитные материалы, наномагнетики
- 1D и 2D материалы
- Материалы для оптоэлектроники, солнечной энергетики, метаматериалы
Физика микро- и наноразмерных приборов:
- Тенденции масштабирования: More Moore, beyond CMOS, and more than Moore trends
- Нанотранзисторы: CMOS FET, TFET, SET, молекулярные и другие
- Интегральные устройства памяти, DRAM, ReRAM, FeRAM
- Магнитные микро- и наноструктуры, приборы спинтроники
- Сверхпроводящие микро- и наноприборы и устройства
- Приборы оптоэлектроники, фотоники
- Микро- и наноэлектромеханические системы (MEMS, NEMS)
- Моделирование
Технологии и перспективное технологическое оборудование для производства приборов микро- и наноэлектроники:
- Суб-65 нм литография: DUV, иммерсионная, EUV, электронная и ионная литография, наноимпринт
- Front-End of Line (FEOL) процессы для технологии УБИС
- Back-End of Line (BEOL) процессы для технологии УБИС
- Технологии получения 2D материалов (графен, MoS2, WS2 и др.)
- Технологии создания МЭМС и НЭМС
- Технологии создания сверхпроводящих приборов
Метрология:
- In situ методы мониторинга технологических процессов
- Методы контроля, диагностики и характеризации микро- и наноструктур
Квантовая информатика:
- Квантовые компьютеры: теория и эксперимент
- Квантовые измерения
- Квантовые алгоритмы
- Квантовая связь
Организаторы и спонсоры:
- Физико-технологический институт, Москва, Россия
- АО «Научно-исследовательский институт молекулярной электроники», Зеленоград, Россия
- Российский фонд фундаментальных исследований, Москва, Россия
- Российская академия наук, Oтделение нанотехнологий и информационных технологий
- Научный Совет РАН по физическим и химическим основам полупроводникового материаловедения
- SPIE – The International Society for Optical Engineering, USA — the publisher of the Conference proceedings
- Институт физики полупроводников, Новосибирск, Россия
- Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
- Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова, Ярославль, Россия
- TechnoInfo Ltd., Wembley, UK
- Компания НИКС, Москва, Россия
- ЗАО «НТО» (SemiTEq), Санкт-Петербург, Россия
Вы можете скачать pdf-файлы программы конференции и сборника тезисов.
