Общая информация
Международная конференция «Микро- и наноэлектроника – 2014» (ICMNE-2014), включающая расширенную сессию «Квантовая информатика» (QI-2014), проводилась 6-10 октября 2014 в д/о «Ершово», Звенигород, Московская область, Россия.
Тематика:
Материалы и пленки для микро- и наноэлектроники:
- КНИ, Si, SiGe, A3B5, A2B6
- Тонкие пленки, high-k диэлектрики, low-k диэлектрики
- Материалы для металлических затворов, контактов и систем металлизации микро- и наноразмерных приборов
- Магнитные материалы, наномагнетики
- Нанотрубки, графен
- Материалы для оптоэлектроники, солнечной энергетики, метаматериалы
Технологии микро- и наноэлектроники, технологическое оборудование:
- Суб-100 нм литография: DUV, EUV, электронная и ионная литография, наноимпринт
- Плазменные и ионно-пучковые процессы и технологии для микро- и наноэлектроники
- Ионная имплантация: пучковая и плазменно-иммерсионная
- Процессы CVD, молекулярная эпитаксия
Метрология:
- Методы мониторинга технологических процессов, определение момента окончания процессов
- Методы диагностики и характеризация микро- и наноструктур
Физика и технология микро- и наноразмерных приборов:
- Нанотранзисторы: МДП, одноэлектронные, тонкопленочные и другие
- Интегральные устройства памяти, мемристоры
- Магнитные микро- и наноструктуры
- Приборы спинтроники
- Сверхпроводящие микро- и наноприборы и устройства
- Приборы оптоэлектроники, фотоники
- Микро- и наноэлектромеханические системы (MEMS, NEMS)
Моделирование:
- Моделирование технологических процессов
- Моделирование микро- и наноэлектронных приборов
КНИ и низкоразмерные структуры:
- Технология и эксперименты
- Приборы
- Теория и моделирование
Квантовая информатика:
- Квантовые компьютеры: теория и эксперимент
- Квантовые измерения
- Квантовые алгоритмы
- Квантовая связь
Организаторы и спонсоры:
- Физико-технологический институт (ФТИАН), Москва, Россия
- ОАО «НИИМЭ и Микрон», Зеленоград, Россия
- Российский фонд фундаментальных исследований, Москва, Россия
- Федеральное агенство научных организаций, Москва, Россия
- Российская академия наук, Oтделение нанотехнологий и информационных технологий
- Научный Совет РАН по физическим и химическим основам полупроводникового материаловедения
- SPIE – The International Society for Optical Engineering
- Институт физики полупроводников, Новосибирск, Россия
- Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
- Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова, Ярославль, Россия
- TechnoInfo Ltd., Wembley, UK
- Компания НИКС, Москва, Россия
Вы можете скачать pdf-файлы программы конференции и сборника тезисов.