Информация о IC MNE 2014 и QI 2014

Общая информация

Международная конференция «Микро- и наноэлектроника – 2014» (ICMNE-2014), включающая расширенную сессию «Квантовая информатика» (QI-2014), проводилась 6-10 октября 2014 в д/о «Ершово», Звенигород, Московская область, Россия. 

Тематика:

Материалы и пленки для микро- и наноэлектроники:

  • КНИ, Si, SiGe, A3B5, A2B6
  • Тонкие пленки, high-k диэлектрики, low-k диэлектрики
  • Материалы для металлических затворов, контактов и систем металлизации микро- и наноразмерных приборов
  • Магнитные материалы, наномагнетики
  • Нанотрубки, графен
  • Материалы для оптоэлектроники, солнечной энергетики, метаматериалы

Технологии микро- и наноэлектроники, технологическое оборудование:

  • Суб-100 нм литография: DUV, EUV, электронная и ионная литография, наноимпринт
  • Плазменные и ионно-пучковые процессы и технологии для микро- и наноэлектроники
  • Ионная имплантация: пучковая и плазменно-иммерсионная
  • Процессы CVD, молекулярная эпитаксия

Метрология:

  • Методы мониторинга технологических процессов, определение момента окончания процессов
  • Методы диагностики и характеризация микро- и наноструктур

Физика и технология микро- и наноразмерных приборов:

  • Нанотранзисторы: МДП, одноэлектронные, тонкопленочные и другие
  • Интегральные устройства памяти, мемристоры
  • Магнитные микро- и наноструктуры
  • Приборы спинтроники
  • Сверхпроводящие микро- и наноприборы и устройства
  • Приборы оптоэлектроники, фотоники
  • Микро- и наноэлектромеханические системы (MEMS, NEMS)

Моделирование:

  • Моделирование технологических процессов
  • Моделирование микро- и наноэлектронных приборов

КНИ и низкоразмерные структуры:

  • Технология и эксперименты
  • Приборы
  • Теория и моделирование

Квантовая информатика:

  • Квантовые компьютеры: теория и эксперимент
  • Квантовые измерения
  • Квантовые алгоритмы
  • Квантовая связь

Организаторы и спонсоры:

  • Физико-технологический институт (ФТИАН), Москва, Россия
  • ОАО «НИИМЭ и Микрон», Зеленоград, Россия
  • Российский фонд фундаментальных исследований, Москва, Россия
  • Федеральное агенство научных организаций, Москва, Россия
  • Российская академия наук, Oтделение нанотехнологий и информационных технологий
  • Научный Совет РАН по физическим и химическим основам полупроводникового материаловедения
  • SPIE – The International Society for Optical Engineering
  • Институт физики полупроводников, Новосибирск, Россия
  • Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
  • Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова, Ярославль, Россия
  • TechnoInfo Ltd., Wembley, UK
  • Компания НИКС, Москва, Россия

Вы можете скачать pdf-файлы программы конференции и сборника тезисов.