Информация о IC MNE 2021 и QI 2021

Общая информация

14-я Международная конференция «Микро- и наноэлектроника – 2021» (ICMNE-2021), включающая расширенную сессию «Квантовая информатика», проводилась в очно-заочной форме 4-8 октября 2021 в парк-отеле «Ершово», Звенигород, Московская область, Россия.

Тематика:

Физика микро- и наноразмерных приборов:

Проблемы и пути масштабирования наноразмерных приборов и интегральных схем.
Нанотранзисторы: CMOS FET, TFET, SET, молекулярные транзисторы и переключатели и т.д.
Интегральные устройства памяти: DRAM, ReRAM, FeRAM.
Приборы с 1D и 2D каналами.
Углеродная микро- и наноэлектроника.
Твердотельные приборы для THz генерации и детектирования.
Магнитные микро- и наноструктуры и приборы, спинтроника.
Сверхпроводящие микро- и наноприборы и устройства.
Приборы оптоэлектроники, фотоники.
Сенсоры, микро- и наноэлектромеханические системы (MEMS, NEMS, BioMEMS).
Моделирование приборов.

Технология и характеризация материалов для микро- и наноэлектроники:

Si, SOI, SiGe, A³B⁵, A²B⁶.
High-k, low-k диэлектрики.
Металлические пленки в приборных структурах УБИС.
1D, 2D материалы.
Магнитные материалы, наномагнетики.
Материалы оптоэлектроники, фотовольтаики, метаматериалы.

Технологические процессы и перспективное технологическое оборудование микро- и наноэлектроники:

Литография: иммерсионная, EUV, электронная и ионная литография, наноимпринт.
Front-End of Line (FEOL) процессы для технологии УБИС.
Back-End of Line (BEOL) процессы для технологии УБИС.
Front-End of Line (FEOL) процессы для технологии УБИС.
Технологии 3D-интеграции интегральных схем.
Технология 2D материалов и структур для наноэлектроники (графен, MoS₂, WS₂ и др.
Технологии 1D структур (нанопровода, нанотрубки).
Технологии MEMS, NEMS, BioMEMS.
Технологии изготовления сверхпроводящих приборов.

Метрология:

Методы диагностики и управления технологическими процессами In situ (End-point детекторы, смарт-сенсоры).
Методы контроля, диагностики и характеризации микро- и наноструктур.