Информация о IC MNE 2021 и QI 2021

Общая информация

14-я Международная конференция «Микро- и наноэлектроника – 2021» (ICMNE-2021), включающая расширенную сессию «Квантовая информатика», проводилась в очно-заочной форме 4-8 октября 2021 в парк-отеле «Ершово», Звенигород, Московская область, Россия. 

Тематика:

Физика микро- и наноразмерных приборов:

  • Проблемы и пути масштабирования наноразмерных приборов и интегральных схем.
  • Нанотранзисторы: CMOS FET, TFET, SET, молекулярные транзисторы и переключатели и т.д.
  • Интегральные устройства памяти: DRAM, ReRAM, FeRAM.
  • Приборы с 1D и 2D каналами.
  • Углеродная микро- и наноэлектроника.
  • Твердотельные приборы для THz генерации и детектирования.
  • Магнитные микро- и наноструктуры и приборы, спинтроника.
  • Сверхпроводящие микро- и наноприборы и устройства.
  • Приборы оптоэлектроники, фотоники.
  • Сенсоры, микро- и наноэлектромеханические системы (MEMS, NEMS, BioMEMS).
  • Моделирование приборов.

Технология и характеризация материалов для микро- и наноэлектроники:

  • Si, SOI, SiGe, A3B5, A2B6.
  • High-k, low-k диэлектрики.
  • Металлические пленки в приборных структурах УБИС.
  • 1D, 2D материалы.
  • Магнитные материалы, наномагнетики.
  • Материалы оптоэлектроники, фотовольтаики, метаматериалы.

Технологические процессы и перспективное технологическое оборудование микро- и наноэлектроники:

  • Литография: иммерсионная, EUV, электронная и ионная литография, наноимпринт.
  • Front-End of Line (FEOL) процессы для технологии УБИС.
  • Back-End of Line (BEOL) процессы для технологии УБИС.
  • Технологии 3D-интеграции интегральных схем.
  • Технологии 2D материалов и структур для наноэлектроники (графен, MoS2, WS2 и др.)
  • Технологии 1D структур (нанопровода, нанотрубки).
  • Технологии MEMS, NEMS, BioMEMS.
  • Технологии изготовления сверхпроводящих приборов.

Метрология:

  • Методы диагностики и управления технологическими процессами In situ (End-point детекторы, смарт-сенсоры).
  • Методы контроля, диагностики и характеризации микро- и наноструктур.

Квантовая информатика:

  • Квантовые компьютеры: теория и эксперимент.
  • Квантовые измерения.
  • Квантовые алгоритмы.
  • Квантовая связь.
  • Квантовые сенсоры.

Организаторы и спонсоры:

  • Oтделение нанотехнологий и информационных технологий РАН
  • Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН, Москва, Россия
  • АО «НИИМЭ», Зеленоград, Россия
  • TechnoInfo Ltd., Wembley, UK
  • Компания НИКС, Москва, Россия
  • SPIE – The International Society for Optical Engineering
  • Журнал «Микроэлектроника», Москва, Россия

 Вы можете скачать pdf-файлы программы конференции и сборника тезисов.