Общая информация
14-я Международная конференция «Микро- и наноэлектроника – 2021» (ICMNE-2021), включающая расширенную сессию «Квантовая информатика», будет проводиться в очно-заочной форме 4-8 октября 2021 в парк-отеле «Ершово», Звенигород, Московская область, Россия. Она продолжает серию Всероссийских конференций МНЕ-1999, МНЕ-2001, КИ-2002 и международных конференций ICMNE-2003, QI-2004, ICMNE-2005, QI-2005, ICMNE-2007, QI-2007, ICMNE-2009, QI-2009, ICMNE-2012, QI-2012, ICMNE-2014, QI-2014, ICMNE-2016, QI-2016, ICMNE-2018 и QI-2018.
Конференция ICMNE проводится один раз в два года и охватывает большинство областей микро- и наноэлектронных технологий, а также физики микро- и наноразмерных приборов. ICMNE-2021 будет сконцентрирована на освещении последних достижений в этой сфере. Во время работы конференции будет проведен «круглый стол»: «Возникновение и перспективы развития микроэлектроники в России: к 90-летию со дня рождения академика К.А. Валиева».
Тематика:
Физика микро- и наноразмерных приборов:
- Проблемы и пути масштабирования наноразмерных приборов и интегральных схем.
- Нанотранзисторы: CMOS FET, TFET, SET, молекулярные транзисторы и переключатели и т.д.
- Интегральные устройства памяти: DRAM, ReRAM, FeRAM.
- Приборы с 1D и 2D каналами.
- Углеродная микро- и наноэлектроника.
- Твердотельные приборы для THz генерации и детектирования.
- Магнитные микро- и наноструктуры и приборы, спинтроника.
- Сверхпроводящие микро- и наноприборы и устройства.
- Приборы оптоэлектроники, фотоники.
- Сенсоры, микро- и наноэлектромеханические системы (MEMS, NEMS, BioMEMS).
- Моделирование приборов.
Технология и характеризация материалов для микро- и наноэлектроники:
- Si, SOI, SiGe, A3B5, A2B6.
- High-k, low-k диэлектрики.
- Металлические пленки в приборных структурах УБИС.
- 1D, 2D материалы.
- Магнитные материалы, наномагнетики.
- Материалы оптоэлектроники, фотовольтаики, метаматериалы.
Технологические процессы и перспективное технологическое оборудование микро- и наноэлектроники:
- Литография: иммерсионная, EUV, электронная и ионная литография, наноимпринт.
- Front-End of Line (FEOL) процессы для технологии УБИС.
- Back-End of Line (BEOL) процессы для технологии УБИС.
- Front-End of Line (FEOL) процессы для технологии УБИС.
- Технологии 3D-интеграции интегральных схем.
- Технология 2D материалов и структур для наноэлектроники (графен, MoS2, WS2 и др.
- Технологии 1D структур (нанопровода, нанотрубки).
- Технологии MEMS, NEMS, BioMEMS.
- Технологии изготовления сверхпроводящих приборов.
Метрология:
- Методы диагностики и управления технологическими процессами In situ (End-point детекторы, смарт-сенсоры).
- Методы контроля, диагностики и характеризации микро- и наноструктур.
Квантовая информатика:
- Квантовые компьютеры: теория и эксперимент.
- Квантовые измерения.
- Квантовые алгоритмы.
- Квантовая связь.
- Квантовые сенсоры.
Организаторы и спонсоры:
- Oтделение нанотехнологий и информационных технологий РАН
- Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН, Москва, Россия
- АО «НИИМЭ», Зеленоград, Россия
- TechnoInfo Ltd., Wembley, UK
- Компания НИКС, Москва, Россия
- SPIE – The International Society for Optical Engineering
- Журнал «Микроэлектроника», Москва, Россия
Язык:
Рабочий язык конференции – английский.
Тезисы докладов:
Оргкомитет ICMNE-2021 приветствует доклады, присланные от академического сообщества, университетов, отраслевой науки. Программный комитет будет оказывать предпочтение докладам, содержащим результаты последних оригинальных исследований, соответствующих тематике конференции. Тезисы докладов должны быть написаны ясным и лаконичным английским языком.
Программа конференции будет включать как приглашенные доклады, так и принятые по результатам рецензирования Программным комитетом ICMNE-2021. Рейтинговое рецензирование будет проводиться на основе присланных тезисов докладов с учетом их соответствия тематике конференции и научному качеству представленных результатов. Окончательное решение о форме представления доклада (устной или стендовый) принимается Программным и Организационным комитетами; пожелания авторов учитываются.
Вы можете скачать шаблон одностраничных тезисов в разделе Скачать сайта конференции. Файлы с тезисами принимаются Локальным оргкомитетом ICMNE-2021 по электронной почте icmne2021@gmail.com.
Последний срок отправки тезисов — 8 августа 2021.
Труды конференции:
Труды 14-й Международной конференции «Микро- и наноэлектроника – 2021» (ICMNE-2021), включающей расширенную сессию «Квантовая информатика», публикуются в виде:
1. Book of Abstracts (индексируется РИНЦ, e-library.ru). Сборник тезисов издается до начала конференции и предоставляется каждому участнику конференции при регистрации в п/о «Ершово». Кроме того, электронная версия сборника в формате PDF выкладывается на сайте конференции.
2. Сборника рецензируемых статей по докладам в отдельном томе Proceedings of SPIE (индексируется Web of Science, SCOPUS), который издается SPIE Digital Library после окончания конференции. Полнотекстовые статьи докладов публикуются по желанию авторов, принявших участие в конференции.
Авторам необходимо подготовить рукописи полных текстов в размере научной статьи, оформленные в соответствии с правилами для Proceedings of SPIE (файл доступен в разделе Скачать), и направить их в издательство, используя Author Submission & Chair Review System. Тексты для публикации в SPIE должны быть написаны ясным и лаконичным английским языком. Допустимый размер статьи составляет 6-12 страниц.
Последний срок отправки рукописей полных текстов докладов в SPIE – 9 ноября 2021. Необходимо также отправить копии полнотекстовых докладов и заполненные формы SPIE о передаче авторских прав в Локальный оргкомитет ICMNE-2021. Без этого публикация в SPIE будет отклонена.
В связи с установлением в РФ нерабочих дней, срок приема статей продлен до 16 ноября 2021.
Поскольку издание Proceedings of SPIE является рецензируемым, доклады, не представленные и не обсужденные на конференции, публиковаться в нем не будут.
