Информация о IC MNE 2023 и QI 2023

Общая информация

15-я Международная конференция «Микро- и наноэлектроника – 2023» (ICMNE-2023), включающая расширенную сессию «Квантовая информатика», проводилась в очно-заочной форме 3-6 октября 2023 в парк-отеле «Ершово», Звенигород, Московская область, Россия.

Тематика:

Физика микро- и наноразмерных приборов:

Проблемы и пути масштабирования наноразмерных приборов и интегральных схем
Нанотранзисторы: CMOS FET, TFET, SET, молекулярные транзисторы и переключатели и т.д.
Интегральные устройства памяти: DRAM, ReRAM, FeRAM
Приборы с 1D и 2D каналами
Углеродная микро- и наноэлектроника
Твердотельные приборы для THz генерации и детектирования
Магнитные микро- и наноструктуры и приборы, спинтроника
Сверхпроводящие микро- и наноприборы и устройства
Приборы оптоэлектроники, фотоники
Сенсоры, микро- и наноэлектромеханические системы (MEMS, NEMS, BioMEMS)
Моделирование приборов

Технология и характеризация материалов для микро- и наноэлектроники:

Si, SOI, SiGe, A³B⁵, A²B⁶
High-k, low-k диэлектрики
Металлические пленки в приборных структурах УБИС
1D, 2D материалы
Магнитные материалы, наномагнетики
Материалы оптоэлектроники, фотовольтаики, метаматериалы

Технологические процессы и перспективное технологическое оборудование микро- и наноэлектроники:

Литография: иммерсионная, EUV, электронная и ионная литография, наноимпринт
Front-End of Line (FEOL) процессы для технологии УБИС
Back-End of Line (BEOL) процессы для технологии УБИС
Технологии 3D интеграции интегральных схем
Технология 2D материалов и структур для наноэлектроники (графен, MoS₂, WS₂ и др.)
Технологии 1D структур (нанопровода, нанотрубки)
Технологии MEMS, NEMS, BioMEMS
Технологии изготовления сверхпроводниковых приборов

Метрология:

Методы диагностики и управления технологическими процессами in situ (end-point детекторы, смарт-сенсоры)
Методы контроля, диагностики и характеризации микро- и наноструктур

Квантовая информатика:

Квантовые компьютеры: теория и эксперимент
Квантовые измерения
Квантовые алгоритмы
Квантовая связь
Квантовые сенсоры

Итоги конкурса докладов молодых ученых:

Кузьменко Виталий Олегович (ФТИАН им. В.А. Валиева РАН, Москва) — за лучший устный доклад в области микро- и наноэлектроники
Ганыкина Екатерина Андреевна (АО «НИИМЭ», Зеленоград) — за лучший стендовый доклад в области микро- и наноэлектроники
Дмитриев Илья Алексеевич (ФТИАН им. В.А. Валиева РАН, Москва) — за лучший устный доклад в области квантовой информатики
Башмакова Елизавета Николаевна (СПб государственный университет, Санкт-Петербург) — за лучший стендовый доклад в области квантовой информатики

Организаторы и спонсоры: