15-я Международная конференция «Микро- и наноэлектроника – 2023» (ICMNE-2023), включающая расширенную сессию «Квантовая информатика», будет проводиться в очно-заочной форме 2-6 октября 2023 в парк-отеле «Ершово», Звенигород, Московская область, Россия. Она продолжает серию Всероссийских конференций МНЕ-1999, МНЕ-2001, КИ-2002 и международных конференций ICMNE-2003, QI-2004, ICMNE-2005, QI-2005, ICMNE-2007, QI-2007, ICMNE-2009, QI-2009, ICMNE-2012, QI-2012, ICMNE-2014, QI-2014, ICMNE-2016, QI-2016, ICMNE-2018, QI-2018, ICMNE-2021 и QI-2021.

   Конференция ICMNE проводится один раз в два года и охватывает большинство областей микро- и наноэлектронных технологий, а также физики микро- и наноразмерных приборов. ICMNE-2023 будет сконцентрирована на освещении последних достижений в этой сфере. 

Тематика:

Физика микро- и наноразмерных приборов:

  • Проблемы и пути масштабирования наноразмерных приборов и интегральных схем.
  • Нанотранзисторы: CMOS FET, TFET, SET, молекулярные транзисторы и переключатели и т.д.
  • Интегральные устройства памяти: DRAM, ReRAM, FeRAM.
  • Приборы с 1D и 2D каналами.
  • Углеродная микро- и наноэлектроника.
  • Твердотельные приборы для THz генерации и детектирования.
  • Магнитные микро- и наноструктуры и приборы, спинтроника.
  • Сверхпроводящие микро- и наноприборы и устройства.
  • Приборы оптоэлектроники, фотоники.
  • Сенсоры, микро- и наноэлектромеханические системы (MEMS, NEMS, BioMEMS).
  • Моделирование приборов.

Технология и характеризация материалов для микро- и наноэлектроники:

  • Si, SOI, SiGe, A3B5, A2B6.
  • High-k, low-k диэлектрики.
  • Металлические пленки в приборных структурах УБИС.
  • 1D, 2D материалы.
  • Магнитные материалы, наномагнетики.
  • Материалы оптоэлектроники, фотовольтаики, метаматериалы.

Технологические процессы и перспективное технологическое оборудование микро- и наноэлектроники:

  • Литография: иммерсионная, EUV, электронная и ионная литография, наноимпринт.
  • Front-End of Line (FEOL) процессы для технологии УБИС.
  • Back-End of Line (BEOL) процессы для технологии УБИС.
  • Технологии 3D интеграции интегральных схем.
  • Технология 2D материалов и структур для наноэлектроники (графен, MoS2, WS2 и др.)
  • Технологии 1D структур (нанопровода, нанотрубки).
  • Технологии MEMS, NEMS, BioMEMS.
  • Технологии изготовления сверхпроводниковых приборов.

Метрология:

  • Методы диагностики и управления технологическими процессами in situ (end-point детекторы, смарт-сенсоры).
  • Методы контроля, диагностики и характеризации микро- и наноструктур.

Квантовая информатика:

  • Квантовые компьютеры: теория и эксперимент.
  • Квантовые измерения.
  • Квантовые алгоритмы.
  • Квантовая связь.
  • Квантовые сенсоры.

Организаторы и спонсоры:

  • Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт», Москва, Россия
  • Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН, Москва, Россия
  • ООО ТехноИнфо, Москва, Россия
  • Компания НИКС, Москва, Россия
  • SPIE – The International Society for Optical Engineering
  • Журнал «Микроэлектроника», Москва, Россия

Язык:

Рабочий язык конференции – английский.

Тезисы докладов:

   Оргкомитет ICMNE-2023 приветствует доклады, присланные от академического сообщества, университетов, отраслевой науки. Программный комитет будет оказывать предпочтение докладам, содержащим результаты последних оригинальных исследований, соответствующих тематике конференции. Тезисы докладов должны быть написаны ясным и лаконичным английским языком.

   Программа конференции будет включать как приглашенные доклады, так и принятые по результатам рецензирования Программным комитетом ICMNE-2023. Рейтинговое рецензирование будет проводиться на основе присланных тезисов докладов с учетом их соответствия тематике конференции и научному качеству представленных результатов. Окончательное решение о форме представления доклада (устной или стендовый) принимается Программным и Организационным комитетами; пожелания авторов учитываются.

   Вы можете скачать шаблон одностраничных тезисов в разделе Скачать сайта конференции. Файлы с тезисами принимаются Локальным оргкомитетом ICMNE-2023 по электронной почте icmne2023@gmail.com.

Последний срок отправки тезисов — 7 августа 2023.

Труды конференции:

   Труды 15-й Международной конференции «Микро- и наноэлектроника – 2023» (ICMNE-2023), включающей расширенную сессию «Квантовая информатика», публикуются в виде:

1. Book of Abstracts (индексируется РИНЦ, e-library.ru). Сборник тезисов издается до начала конференции и предоставляется каждому участнику конференции при регистрации в п/о «Ершово». Кроме того, электронная версия сборника в формате PDF выкладывается на сайте конференции.

2. Сборника рецензируемых статей по материалам докладов в отдельном томе Proceedings of SPIE (индексируется Web of Science, SCOPUS), который издается SPIE Digital Library после окончания конференции. Полнотекстовые статьи докладов публикуются по желанию авторов, принявших участие в конференции.

   Авторам необходимо подготовить рукописи полных текстов в размере научной статьи, оформленные в соответствии с правилами для Proceedings of SPIE (файл доступен в разделе Скачать). Тексты для публикации в SPIE должны быть написаны ясным и лаконичным английским языком. Допустимый размер статьи составляет строго 4-6 страниц.

   Последний срок отправки рукописей полных текстов докладов в SPIE –  6 ноября 2023. Необходимо также отправить копии полнотекстовых докладов и заполненных форм SPIE о передаче авторских прав в Локальный оргкомитет ICMNE-2023. Без этого публикация в SPIE будет отклонена.

   Поскольку издание Proceedings of SPIE является рецензируемым, доклады, не представленные и не обсужденные на конференции, публиковаться в нем не будут.