16-я Валиевская Международная конференция «Микро- и наноэлектроника – 2025» (ICMNE-2025), включающая расширенные сессии «Физика поверхности и гетерограниц»  и «Квантовые технологии» , будет проводиться в очно-заочной форме с 6 по 10 октября 2025 года в Главном корпусе Ярославского государственного университета им. П.Г. Демидова, Ярославль. Стартовав, по предложению академика К.А. Валиева, в 1994 г. как Всероссийская конференция «Микроэлектроника» с участием зарубежных ученых, она приобрела популярность у специалистов в этой области, и к 1999 г. трансформировалась в международную, проводящуюся на английском языке, конференцию «International Conference on Micro- and Nanoelectronics» (ICMNE), на которой с приглашенными докладами выступают ведущие ученые Европы, Японии, США (архив конференции на странице История).

Конференция ICMNE проводится один раз в два года и охватывает большинство областей микро- и наноэлектронных технологий, а также физики микро- и наноразмерных приборов. ICMNE-2025 будет сконцентрирована на освещении последних достижений в этой сфере.

Рабочие языки конференции ICMNE-2025: русский и английский. Сайт конференции: icmne.ftian.ru.

Тематика:

Физика микро- и наноразмерных приборов:

  • Проблемы и пути масштабирования наноразмерных приборов и интегральных схем
  • Нанотранзисторы: CMOS FET, TFET, FeFET, SET, молекулярные транзисторы и переключатели и т.д.
  • Интегральные устройства памяти: DRAM, ReRAM, FeRAM
  • Приборы с 1D и 2D каналами
  • Углеродная микро- и наноэлектроника
  • Приборы СВЧ-электроники
  • Твердотельные приборы для THz генерации и детектирования
  • Магнитные микро- и наноструктуры и приборы, спинтроника
  • Перспективная элементная база нейроморфных систем
  • Приборы и устройства криоэлектроники
  • Структуры и приборы оптоэлектроники, фотоники
  • Сенсоры, микро- и наноэлектромеханические системы (MEMS, NEMS, BioMEMS)
  • Моделирование приборов наноэлектроники

Расширенная сессия: Физика поверхности и гетерограниц:

  • Динамика и самоорганизация на поверхности
  • Фазовые превращения на поверхности и гетерограницах
  • Поверхностная диффузия и рост пленок на поверхности
  • Электронные и оптические свойства поверхности
  • Физика атомных кластеров на поверхности и переходных слоев на гетерограницах
  • Химические реакции на поверхности и гетерограницах
  • Новые экспериментальные методы исследования поверхности

Материалы и гетероструктуры микро- и оптоэлектроники, силовой электроники:

  • Si, SOI, GOI, SiGe/Si, AIIIBV, AIIBVI, SiC, beta-Ga2O3
  • Алмазные гетероструктуры
  • High-k, Low-k диэлектрики
  • Материалы для систем металлизации УБИС
  • 1D, 2D материалы
  • Магнитные материалы, наномагнетики
  • Материалы оптоэлектроники, метаматериалы
  • Нанокомпозитные материалы в приборах и устройствах электроники

Физика технологических процессов микро- и наноэлектроники:

  • Литография: иммерсионная, EUV, электроннолучевая и ионнолучевая, наноимпринт
  • Front-End of Line (FEOL) процессы для формирования структур ИС
  • Back-End of Line (BEOL) процессы для формирования структур ИС
  • 3D интеграция ИС
  • Структуры для наноэлектроники на основе 2D материалов (графен, MoS2, WS2 и др.)
  • Технологии 1D приборных структур (нанопровода, нанолисты, нанотрубки)
  • MEMS, NEMS, BioMEMS
  • Технологии сверхпроводниковых приборов

Метрология:

  • Методы диагностики и управления технологическими процессами in situ (end-point детекторы, смарт-сенсоры)
  • Методы контроля, диагностики и характеризации микро- и наноструктур

Расширенная сессия: Квантовые технологии:

  • Квантовые вычисления: теория и эксперимент
  • Квантовые измерения
  • Квантовые алгоритмы
  • Квантовая связь
  • Квантовые сенсоры

    • Оргкомитет конференции приветствует доклады, присланные от академического сообщества, университетов, отраслевой науки. Программа конференции будет включать в себя и приглашенные научные доклады. Программный комитет определит, в каком виде будет представлен научный доклад (устный или постер), однако пожелания авторов, конечно, будут учтены.

    Тезисы докладов должны быть написаны ясно и лаконично и представлены в одном файле двумя аутентичными одностраничными текстами на английском и русском языках. Вы можете найти шаблон тезисов в разделе «Скачать» сайта конференции. Файлы с тезисами принимаются Локальным оргкомитетом по электронной почте icmne2025@gmail.com.

    Кроме того, вместе с тезисами необходимо прислать скан экспертного заключения. Оригинал указанного документа следует передать на самой конференции или прислать по почте (Россия, 117218, Москва, Нахимовский проспект д. 36 корп. 1, НИЦ«Курчатовский институт» — Отделение ФТИ им. К.А. Валиева, локальный комитет ICMNE-2025).

    Последний срок отправки тезисов — 15 августа 2025.