15-я Международная конференция «Микро- и наноэлектроника – 2023» (ICMNE-2023), включающая расширенную сессию «Квантовая информатика – 2023» (QI-2023) , будет проводиться в очно-заочной форме с 2 по 6 октября 2023 г. в парк-отеле «Ершово», Звенигород, Московская обл. Стартовав, по предложению академика К.А. Валиева, в 1994 г. как Всероссийская конференция «Микроэлектроника» с участием зарубежных ученых, она приобрела популярность у специалистов в этой области, и к 1999 г. трансформировалась в международную, проводящуюся на английском языке, конференцию «International Conference on Micro- and Nanoelectronics» (ICMNE), на которой с приглашенными докладами выступают ведущие ученые Европы, Японии, США (архив конференции на странице История).

   Конференция ICMNE проводится один раз в два года и охватывает большинство областей микро- и наноэлектронных технологий, а также физики микро- и наноразмерных приборов. ICMNE-2023 будет сконцентрирована на освещении последних достижений в этой сфере. На конференции будет организована специальная сессия, посвященная технологическому и диагностическому оборудованию, предназначенному для применения в микро- и наноэлектронике.

   Рабочий язык конференции ICMNE-2023 английский. Сайт конференции: icmne.ftian.ru.

Тематика:

Физика микро- и наноразмерных приборов:

  • Проблемы и пути масштабирования наноразмерных приборов и интегральных схем.
  • Нанотранзисторы: CMOS FET, TFET, SET, молекулярные транзисторы и переключатели и т.д.
  • Интегральные устройства памяти: DRAM, ReRAM, FeRAM.
  • Приборы с 1D и 2D каналами.
  • Углеродная микро- и наноэлектроника.
  • Твердотельные приборы для THz генерации и детектирования.
  • Магнитные микро- и наноструктуры и приборы, спинтроника.
  • Сверхпроводящие микро- и наноприборы и устройства.
  • Приборы оптоэлектроники, фотоники.
  • Сенсоры, микро- и наноэлектромеханические системы (MEMS, NEMS, BioMEMS).
  • Моделирование приборов.

Технология и характеризация материалов для микро- и наноэлектроники:

  • Si, SOI, SiGe, A3B5, A2B6.
  • High-k, low-k диэлектрики.
  • Металлические пленки в приборных структурах УБИС.
  • 1D, 2D материалы.
  • Магнитные материалы, наномагнетики.
  • Материалы оптоэлектроники, фотовольтаики, метаматериалы.

Технологические процессы и перспективное технологическое оборудование микро- и наноэлектроники:

  • Литография: иммерсионная, EUV, электронная и ионная литография, наноимпринт.
  • Front-End of Line (FEOL) процессы для технологии УБИС.
  • Back-End of Line (BEOL) процессы для технологии УБИС.
  • Технологии 3D интеграции интегральных схем.
  • Технология 2D материалов и структур для наноэлектроники (графен, MoS2, WS2 и др.)
  • Технологии 1D структур (нанопровода, нанотрубки).
  • Технологии MEMS, NEMS, BioMEMS.
  • Технологии изготовления сверхпроводниковых приборов.

Метрология:

  • Методы диагностики и управления технологическими процессами in situ (end-point детекторы, смарт-сенсоры).
  • Методы контроля, диагностики и характеризации микро- и наноструктур.

Квантовая информатика:

  • Квантовые компьютеры: теория и эксперимент.
  • Квантовые измерения.
  • Квантовые алгоритмы.
  • Квантовая связь.
  • Квантовые сенсоры.

   Оргкомитет конференции приветствует доклады, присланные от академического сообщества, университетов, отраслевой науки. Программа конференции будет включать в себя и приглашенные научные доклады. Программный комитет определит, в каком виде будет представлен научный доклад (устный или постер), однако пожелания авторов, конечно, будут учтены.

   Одностраничные тезисы докладов должны содержать оригинальные научные результаты и быть представлены на английском языке.

   Для представления устных докладов будет предоставлено оборудование для комьютерных презентаций (мультимедийный проектор, компьютер). Во избежание проблем с несовместимостью различных версий Microsoft PowerPoint предпочтительно использовать презентацию в формате PDF. Иллюстративный материал и сам доклад должны быть представлены на английском языке.

   Размер стенда для стендового доклада: 120 см х 120 см. Язык представления постеров — английский.

   Файлы тезисов докладов на ICMNE-2023 направлять по адресу icmne2023@gmail.com. Последний срок отправки тезисов 7 августа 2023 г.