15-я Международная конференция «Микро- и наноэлектроника – 2023» (ICMNE-2023), включающая расширенную сессию «Квантовая информатика – 2023» (QI-2023) , будет проводиться в очно-заочной форме с 2 по 6 октября 2023 г. в парк-отеле «Ершово», Звенигород, Московская обл. Стартовав, по предложению академика К.А. Валиева, в 1994 г. как Всероссийская конференция «Микроэлектроника» с участием зарубежных ученых, она приобрела популярность у специалистов в этой области, и к 1999 г. трансформировалась в международную, проводящуюся на английском языке, конференцию «International Conference on Micro- and Nanoelectronics» (ICMNE), на которой с приглашенными докладами выступают ведущие ученые Европы, Японии, США (архив конференции на странице История).
Конференция ICMNE проводится один раз в два года и охватывает большинство областей микро- и наноэлектронных технологий, а также физики микро- и наноразмерных приборов. ICMNE-2023 будет сконцентрирована на освещении последних достижений в этой сфере. На конференции будет организована специальная сессия, посвященная технологическому и диагностическому оборудованию, предназначенному для применения в микро- и наноэлектронике.
Рабочий язык конференции ICMNE-2023 английский. Сайт конференции: icmne.ftian.ru.
Тематика:
Физика микро- и наноразмерных приборов:
- Проблемы и пути масштабирования наноразмерных приборов и интегральных схем.
- Нанотранзисторы: CMOS FET, TFET, SET, молекулярные транзисторы и переключатели и т.д.
- Интегральные устройства памяти: DRAM, ReRAM, FeRAM.
- Приборы с 1D и 2D каналами.
- Углеродная микро- и наноэлектроника.
- Твердотельные приборы для THz генерации и детектирования.
- Магнитные микро- и наноструктуры и приборы, спинтроника.
- Сверхпроводящие микро- и наноприборы и устройства.
- Приборы оптоэлектроники, фотоники.
- Сенсоры, микро- и наноэлектромеханические системы (MEMS, NEMS, BioMEMS).
- Моделирование приборов.
Технология и характеризация материалов для микро- и наноэлектроники:
- Si, SOI, SiGe, A3B5, A2B6.
- High-k, low-k диэлектрики.
- Металлические пленки в приборных структурах УБИС.
- 1D, 2D материалы.
- Магнитные материалы, наномагнетики.
- Материалы оптоэлектроники, фотовольтаики, метаматериалы.
Технологические процессы и перспективное технологическое оборудование микро- и наноэлектроники:
- Литография: иммерсионная, EUV, электронная и ионная литография, наноимпринт.
- Front-End of Line (FEOL) процессы для технологии УБИС.
- Back-End of Line (BEOL) процессы для технологии УБИС.
- Технологии 3D интеграции интегральных схем.
- Технология 2D материалов и структур для наноэлектроники (графен, MoS2, WS2 и др.)
- Технологии 1D структур (нанопровода, нанотрубки).
- Технологии MEMS, NEMS, BioMEMS.
- Технологии изготовления сверхпроводниковых приборов.
Метрология:
- Методы диагностики и управления технологическими процессами in situ (end-point детекторы, смарт-сенсоры).
- Методы контроля, диагностики и характеризации микро- и наноструктур.
Квантовая информатика:
- Квантовые компьютеры: теория и эксперимент.
- Квантовые измерения.
- Квантовые алгоритмы.
- Квантовая связь.
- Квантовые сенсоры.
Оргкомитет конференции приветствует доклады, присланные от академического сообщества, университетов, отраслевой науки. Программа конференции будет включать в себя и приглашенные научные доклады. Программный комитет определит, в каком виде будет представлен научный доклад (устный или постер), однако пожелания авторов, конечно, будут учтены.
Одностраничные тезисы докладов должны содержать оригинальные научные результаты и быть представлены на английском языке.
Для представления устных докладов будет предоставлено оборудование для комьютерных презентаций (мультимедийный проектор, компьютер). Во избежание проблем с несовместимостью различных версий Microsoft PowerPoint предпочтительно использовать презентацию в формате PDF. Иллюстративный материал и сам доклад должны быть представлены на английском языке.
Размер стенда для стендового доклада: 120 см х 120 см. Язык представления постеров — английский.
Файлы тезисов докладов на ICMNE-2023 направлять по адресу icmne2023@gmail.com. Последний срок отправки тезисов 14 августа 2023 г.