Общая информация
Международная конференция“Микро- и наноэлектроника – 2009” (ICMNE-2009) включающая расширенные сессии “Квантовая информатика” (QI-2009) проводилась 5-9 октября, 2009 в пансионате “Липки”, Звенигород, Московская область, Россия.
Тематика:
Материалы, пленки для микро- и наноэлектроники:
- КНИ, напряженный Si, SiGe, GaAs, GaN
- Тонкие пленки, high-k диэлектрики, low-k диэлектрики
- Материалы для металлических затворов, контактов и систем металлизации микро- и наноразмерных приборов
- Магнитные материалы. Наномагнетики
- Нанотрубки
- Материалы для оптоэлектроники, солнечной энергетики, метаматериалы
Технологии микро- и наноэлектроники, технологическое оборудование:
- Суб-100 нм литография: DUV, EUV, электронная и ионная литография, наноимпринт
- Плазменные процессы и технологии для микро- и наноэлектроники
- Ионная имплантация: пучковая и плазменно-иммерсионная
- Процессы CVD, молекулярная эпитаксия
Метрология:
- Методы мониторинга технологических процессов, определение момента окончания процессов
- Методы диагностики и характеризация микро- и наноструктур
Физика и технология микро- и наноразмерных приборов:
- Нанотранзисторы: МДП, одноэлектронные. Память на квантовых точках. Интегральная схемотехника
- Магнитные микро- и наноструктуры
- Спинтроника
- Сверхпроводящие микро-, наноприборы и системы
- Молекулярная электроника
- Приборы оптоэлеткроники, фотоники
- Микро- и нано- электромеханические системы (MEMS, NEMS)
Моделирование:
- Моделирование технологических процессов
- Моделирование микро- и наноэлектронных приборов, устройств
- Моделирование ИС
Квантовая информатика:
- Quantum computer and complex quantum systems modeling (quantum computer problems, computer simulation of quantum systems, decoherence, entanglement)
- Quantum information processing (quantum information, applications of quantum methods)
- Quantum cryptography (quantum channels, nonlocality, security, error correction)
Организаторы и спонсоры:
- Российская Академия Наук (РАН), Oтделение нанотехнологий и информационных технологий
- Министерство образования и науки Российской Федерации
- Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ)
- Научный Совет РАН “Фундаментальные проблемы создания элементной базы информационно-вычислительных и управляющих систем”
- Научный Совет РАН по физическим и химическим основам полупроводникового материаловедения
- Физико-технологический институт РАН (ФТИАН), Москва, Россия
- Учебно-научный центр «МГУ – ФТИАН»
- SPIE – The International Society for Optical Engineering
- Институт физики полупроводников (ИФП) СО РАН, Новосибирск, Россия
- Московский Государственный Университет им. М.В.Ломоносова (МГУ), Россия
- Ярославский Государственный Университет им. П.Г.Демидова (ЯрГУ), Россия
- Московский институт электронной техники (МИЭТ, ТУ), Зеленоград, Россия
- OAO “НИИМЭ и Микрон”, Россия
- INTEL, Inc., USA
- Fraunhofer Institute of Integrated Systems and Device Technology (FhG IIS-B), Germany
- Carl Zeiss AG, Germany
- TechnoInfo Ltd, UK
- Компания НТ-МДТ, Россия
- Компания НИКС , Россия
Вы можете скачать pdf-файлы программы конференции и сборника тезисов.
