Физика микро- и наноразмерных приборов:

  • Проблемы и пути масштабирования наноразмерных приборов и интегральных схем
  • Нанотранзисторы: CMOS FET, TFET, FeFET, SET, молекулярные транзисторы и переключатели и т.д.
  • Интегральные устройства памяти: DRAM, ReRAM, FeRAM
  • Приборы с 1D и 2D каналами
  • Углеродная микро- и наноэлектроника
  • Приборы СВЧ-электроники
  • Твердотельные приборы для THz генерации и детектирования
  • Магнитные микро- и наноструктуры и приборы, спинтроника
  • Перспективная элементная база нейроморфных систем
  • Приборы и устройства криоэлектроники
  • Структуры и приборы оптоэлектроники, фотоники
  • Сенсоры, микро- и наноэлектромеханические системы (MEMS, NEMS, BioMEMS)
  • Моделирование приборов наноэлектроники

Расширенная сессия: Физика поверхности и гетерограниц:

  • Динамика и самоорганизация на поверхности
  • Фазовые превращения на поверхности и гетерограницах
  • Поверхностная диффузия и рост пленок на поверхности
  • Электронные и оптические свойства поверхности
  • Физика атомных кластеров на поверхности и переходных слоев на гетерограницах
  • Химические реакции на поверхности и гетерограницах
  • Новые экспериментальные методы исследования поверхности

Материалы и гетероструктуры микро- и оптоэлектроники, силовой электроники:

  • Si, SOI, GOI, SiGe/Si, AIIIBV, AIIBVI, SiC, beta-Ga2O3
  • Алмазные гетероструктуры
  • High-k, Low-k диэлектрики
  • Материалы для систем металлизации УБИС
  • 1D, 2D материалы
  • Магнитные материалы, наномагнетики
  • Материалы оптоэлектроники, метаматериалы
  • Нанокомпозитные материалы в приборах и устройствах электроники

Физика технологических процессов микро- и наноэлектроники:

  • Литография: иммерсионная, EUV, электроннолучевая и ионнолучевая, наноимпринт
  • Front-End of Line (FEOL) процессы для формирования структур ИС
  • Back-End of Line (BEOL) процессы для формирования структур ИС
  • 3D интеграция ИС
  • Структуры для наноэлектроники на основе 2D материалов (графен, MoS2, WS2 и др.)
  • Технологии 1D приборных структур (нанопровода, нанолисты, нанотрубки)
  • MEMS, NEMS, BioMEMS
  • Технологии сверхпроводниковых приборов

Метрология:

  • Методы диагностики и управления технологическими процессами in situ (end-point детекторы, смарт-сенсоры)
  • Методы контроля, диагностики и характеризации микро- и наноструктур

Расширенная сессия: Квантовые технологии:

  • Квантовые вычисления: теория и эксперимент
  • Квантовые измерения
  • Квантовые алгоритмы
  • Квантовая связь
  • Квантовые сенсоры