Физика микро- и наноразмерных приборов:
- Проблемы и пути масштабирования наноразмерных приборов и интегральных схем
- Нанотранзисторы: CMOS FET, TFET, FeFET, SET, молекулярные транзисторы и переключатели и т.д.
- Интегральные устройства памяти: DRAM, ReRAM, FeRAM
- Приборы с 1D и 2D каналами
- Углеродная микро- и наноэлектроника
- Приборы СВЧ-электроники
- Твердотельные приборы для THz генерации и детектирования
- Магнитные микро- и наноструктуры и приборы, спинтроника
- Перспективная элементная база нейроморфных систем
- Приборы и устройства криоэлектроники
- Структуры и приборы оптоэлектроники, фотоники
- Сенсоры, микро- и наноэлектромеханические системы (MEMS, NEMS, BioMEMS)
- Моделирование приборов наноэлектроники
Расширенная сессия: Физика поверхности и гетерограниц:
- Динамика и самоорганизация на поверхности
- Фазовые превращения на поверхности и гетерограницах
- Поверхностная диффузия и рост пленок на поверхности
- Электронные и оптические свойства поверхности
- Физика атомных кластеров на поверхности и переходных слоев на гетерограницах
- Химические реакции на поверхности и гетерограницах
- Новые экспериментальные методы исследования поверхности
Материалы и гетероструктуры микро- и оптоэлектроники, силовой электроники:
- Si, SOI, GOI, SiGe/Si, AIIIBV, AIIBVI, SiC, beta-Ga2O3
- Алмазные гетероструктуры
- High-k, Low-k диэлектрики
- Материалы для систем металлизации УБИС
- 1D, 2D материалы
- Магнитные материалы, наномагнетики
- Материалы оптоэлектроники, метаматериалы
- Нанокомпозитные материалы в приборах и устройствах электроники
Физика технологических процессов микро- и наноэлектроники:
- Литография: иммерсионная, EUV, электроннолучевая и ионнолучевая, наноимпринт
- Front-End of Line (FEOL) процессы для формирования структур ИС
- Back-End of Line (BEOL) процессы для формирования структур ИС
- 3D интеграция ИС
- Структуры для наноэлектроники на основе 2D материалов (графен, MoS2, WS2 и др.)
- Технологии 1D приборных структур (нанопровода, нанолисты, нанотрубки)
- MEMS, NEMS, BioMEMS
- Технологии сверхпроводниковых приборов
Метрология:
- Методы диагностики и управления технологическими процессами in situ (end-point детекторы, смарт-сенсоры)
- Методы контроля, диагностики и характеризации микро- и наноструктур
Расширенная сессия: Квантовые технологии:
- Квантовые вычисления: теория и эксперимент
- Квантовые измерения
- Квантовые алгоритмы
- Квантовая связь
- Квантовые сенсоры