Физика микро- и наноразмерных приборов:

  • Проблемы и пути масштабирования наноразмерных приборов и интегральных схем
  • Нанотранзисторы: CMOS FET, TFET, SET, молекулярные транзисторы и переключатели и т.д.
  • Интегральные устройства памяти: DRAM, ReRAM, FeRAM
  • Приборы с 1D и 2D каналами
  • Углеродная микро- и наноэлектроника
  • Твердотельные приборы для THz генерации и детектирования
  • Магнитные микро- и наноструктуры и приборы, спинтроника
  • Сверхпроводящие микро- и наноприборы и устройства
  • Приборы оптоэлектроники, фотоники
  • Сенсоры, микро- и наноэлектромеханические системы (MEMS, NEMS, BioMEMS)
  • Моделирование приборов

Технология и характеризация материалов для микро- и наноэлектроники:

  • Si, SOI, SiGe, A3B5, A2B6
  • High-k, low-k диэлектрики
  • Металлические пленки в приборных структурах УБИС
  • 1D, 2D материалы
  • Магнитные материалы, наномагнетики
  • Материалы оптоэлектроники, фотовольтаики, метаматериалы

Технологические процессы и перспективное технологическое оборудование микро- и наноэлектроники:

  • Литография: иммерсионная, EUV, электронная и ионная литография, наноимпринт
  • Front-End of Line (FEOL) процессы для технологии УБИС
  • Back-End of Line (BEOL) процессы для технологии УБИС
  • Технологии 3D интеграции интегральных схем
  • Технология 2D материалов и структур для наноэлектроники (графен, MoS2, WS2 и др.)
  • Технологии 1D структур (нанопровода, нанотрубки)
  • Технологии MEMS, NEMS, BioMEMS
  • Технологии изготовления сверхпроводниковых приборов

Метрология:

  • Методы диагностики и управления технологическими процессами in situ (end-point детекторы, смарт-сенсоры)
  • Методы контроля, диагностики и характеризации микро- и наноструктур

Квантовая информатика:

  • Квантовые компьютеры: теория и эксперимент
  • Квантовые измерения
  • Квантовые алгоритмы
  • Квантовая связь
  • Квантовые сенсоры