Физика микро- и наноразмерных приборов:
- Проблемы и пути масштабирования наноразмерных приборов и интегральных схем
- Нанотранзисторы: CMOS FET, TFET, SET, молекулярные транзисторы и переключатели и т.д.
- Интегральные устройства памяти: DRAM, ReRAM, FeRAM
- Приборы с 1D и 2D каналами
- Углеродная микро- и наноэлектроника
- Твердотельные приборы для THz генерации и детектирования
- Магнитные микро- и наноструктуры и приборы, спинтроника
- Сверхпроводящие микро- и наноприборы и устройства
- Приборы оптоэлектроники, фотоники
- Сенсоры, микро- и наноэлектромеханические системы (MEMS, NEMS, BioMEMS)
- Моделирование приборов
Технология и характеризация материалов для микро- и наноэлектроники:
- Si, SOI, SiGe, A3B5, A2B6
- High-k, low-k диэлектрики
- Металлические пленки в приборных структурах УБИС
- 1D, 2D материалы
- Магнитные материалы, наномагнетики
- Материалы оптоэлектроники, фотовольтаики, метаматериалы
Технологические процессы и перспективное технологическое оборудование микро- и наноэлектроники:
- Литография: иммерсионная, EUV, электронная и ионная литография, наноимпринт
- Front-End of Line (FEOL) процессы для технологии УБИС
- Back-End of Line (BEOL) процессы для технологии УБИС
- Технологии 3D интеграции интегральных схем
- Технология 2D материалов и структур для наноэлектроники (графен, MoS2, WS2 и др.)
- Технологии 1D структур (нанопровода, нанотрубки)
- Технологии MEMS, NEMS, BioMEMS
- Технологии изготовления сверхпроводниковых приборов
Метрология:
- Методы диагностики и управления технологическими процессами in situ (end-point детекторы, смарт-сенсоры)
- Методы контроля, диагностики и характеризации микро- и наноструктур
Квантовая информатика:
- Квантовые компьютеры: теория и эксперимент
- Квантовые измерения
- Квантовые алгоритмы
- Квантовая связь
- Квантовые сенсоры
