Доступна программа конференции (pdf) здесь Информация для докладчиков здесь

14-я Международная конференция "Микро- и наноэлектроника – 2021" (ICMNE-2021), включающая расширенную сессию "Квантовая информатика", будет проводиться в очно-заочной форме 4-8 октября 2021 в парк-отеле "Ершово", Звенигород, Московская область, Россия. Она продолжает серию Всероссийских конференций МНЕ-1999, МНЕ-2001, КИ-2002 и международных конференций ICMNE-2003, QI-2004, ICMNE-2005, QI-2005, ICMNE-2007, QI-2007, ICMNE-2009, QI-2009, ICMNE-2012, QI-2012, ICMNE-2014, QI-2014, ICMNE-2016, QI-2016, ICMNE-2018 и QI-2018.

   Конференция ICMNE проводится один раз в два года и охватывает большинство областей микро- и наноэлектронных технологий, а также физики микро- и наноразмерных приборов. ICMNE-2021 будет сконцентрирована на освещении последних достижений в этой сфере. Во время работы конференции будет проведен "круглый стол": "Возникновение и перспективы развития микроэлектроники в России: к 90-летию со дня рождения академика К.А. Валиева".

Тематика:

Физика микро- и наноразмерных приборов:

• Проблемы и пути масштабирования наноразмерных приборов и интегральных схем.
• Нанотранзисторы: CMOS FET, TFET, SET, молекулярные транзисторы и переключатели и т.д.
• Интегральные устройства памяти: DRAM, ReRAM, FeRAM.
• Приборы с 1D и 2D каналами.
• Углеродная микро- и наноэлектроника.
• Твердотельные приборы для THz генерации и детектирования.
• Магнитные микро- и наноструктуры и приборы, спинтроника.
• Сверхпроводящие микро- и наноприборы и устройства.
• Приборы оптоэлектроники, фотоники.
• Сенсоры, микро- и наноэлектромеханические системы (MEMS, NEMS, BioMEMS).
• Моделирование приборов.

Технология и характеризация материалов для микро- и наноэлектроники:

• Si, SOI, SiGe, A³B⁵, A²B⁶.
• High-k, low-k диэлектрики.
• Металлические пленки в приборных структурах УБИС.
• 1D, 2D материалы.
• Магнитные материалы, наномагнетики.
• Материалы оптоэлектроники, фотовольтаики, метаматериалы.

Технологические процессы и перспективное технологическое оборудование микро- и наноэлектроники:

• Литография: иммерсионная, EUV, электронная и ионная литография, наноимпринт.
• Front-End of Line (FEOL) процессы для технологии УБИС.
• Back-End of Line (BEOL) процессы для технологии УБИС.
• Front-End of Line (FEOL) процессы для технологии УБИС.
• Технологии 3D-интеграции интегральных схем.
• Технология 2D материалов и структур для наноэлектроники (графен, MoS₂, WS₂ и др.
• Технологии 1D структур (нанопровода, нанотрубки).
• Технологии MEMS, NEMS, BioMEMS.
• Технологии изготовления сверхпроводящих приборов.

Метрология:

• Методы диагностики и управления технологическими процессами In situ (End-point детекторы, смарт-сенсоры).
• Методы контроля, диагностики и характеризации микро- и наноструктур.

Квантовая информатика:

• Квантовые компьютеры: теория и эксперимент.
• Квантовые измерения.
• Квантовые алгоритмы.
• Квантовая связь.
• Квантовые сенсоры.

Организаторы и спонсоры:

• Oтделение нанотехнологий и информационных технологий РАН
• Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН, Москва, Россия
• АО "НИИМЭ", Зеленоград, Россия
• TechnoInfo Ltd., Wembley, UK
• Компания НИКС, Москва, Россия
• SPIE – The International Society for Optical Engineering
• Журнал "Микроэлектроника", Москва, Россия

Язык:

Рабочий язык конференции – английский.

Тезисы докладов:

   Вы можете скачать шаблон одностраничных тезисов в разделе Скачать сайта конференции. Файлы с тезисами принимаются Локальным оргкомитетом ICMNE-2021 по электронной почте icmne2021@gmail.com.

Последний срок отправки тезисов - 8 августа 2021.

Труды конференции:

   Труды 14-й Международной конференции "Микро- и наноэлектроника – 2021" (ICMNE-2021), включающей расширенную сессию "Квантовая информатика", публикуются в виде:

1. Book of Abstracts (индексируется РИНЦ, e-library.ru). Сборник тезисов издается до начала конференции и предоставляется каждому участнику конференции при регистрации в п/о "Ершово". Кроме того, электронная версия сборника в формате PDF выкладывается на сайте конференции.

2. Сборника рецензируемых статей по докладам в отдельном томе Proceedings of SPIE (индексируется Web of Science, SCOPUS), который издается SPIE Digital Library после окончания конференции. Полнотекстовые статьи докладов публикуются по желанию авторов, принявших участие в конференции.

   Авторам необходимо подготовить рукописи полных текстов в размере научной статьи, оформленные в соответствии с правилами для Proceedings of SPIE (файл доступен в разделе Скачать), и направить их в издательство, используя Author Submission & Chair Review System. Тексты для публикации в SPIE должны быть написаны ясным и лаконичным английским языком. Допустимый размер статьи составляет 6-12 страниц.

   Последний срок отправки рукописей полных текстов докладов в SPIE – 9 ноября 2021. Необходимо также отправить копии полнотекстовых докладов и заполненные формы SPIE о передаче авторских прав в Локальный оргкомитет ICMNE-2021. Без этого публикация в SPIE будет отклонена.

   Поскольку издание Proceedings of SPIE является рецензируемым, доклады, не представленные и не обсужденные на конференции, публиковаться в нем не будут.