14-я Международная конференция «Микро- и наноэлектроника – 2021» (ICMNE-2021), включающая расширенную сессию «Квантовая информатика – 2021» (QI-2021) , будет проводиться в очно-заочной форме с 4 по 8 октября 2021 г. в парк-отеле «Ершово», Звенигород, Московская обл. Стартовав, по предложению академика К.А. Валиева, в 1994 г. как Всероссийская конференция "Микроэлектроника" с участием зарубежных ученых, она приобрела популярность у специалистов в этой области, и к 1999 г. трансформировалась в международную, проводящуюся на английском языке, конференцию "International Conference on Micro- and Nanoelectronics" (ICMNE), на которой с приглашенными докладами выступают ведущие ученые Европы, Японии, США (архив конференции на страничке icmne.ftian.ru).

   Конференция ICMNE проводится один раз в два года и охватывает большинство областей микро- и наноэлектронных технологий, а также физики микро- и наноразмерных приборов. ICMNE-2021 будет сконцентрирована на освещении последних достижений в этой сфере. На конференции будет организована специальная сессия, посвященная технологическому и диагностическому оборудованию для микро- и наноэлектронных применений.

   Рабочий язык конференции ICMNE-2021 английский. Сайт конференции: icmne.ftian.ru.

Тематика:

Физика микро- и наноразмерных приборов:

• Проблемы и пути масштабирования наноразмерных приборов и интегральных схем.
• Нанотранзисторы: CMOS FET, TFET, SET, молекулярные транзисторы и переключатели и т.д.
• Интегральные устройства памяти: DRAM, ReRAM, FeRAM.
• Приборы с 1D и 2D каналами.
• Углеродная микро- и наноэлектроника.
• Твердотельные приборы для THz генерации и детектирования.
• Магнитные микро- и наноструктуры и приборы, спинтроника.
• Сверхпроводящие микро- и наноприборы и устройства.
• Приборы оптоэлектроники, фотоники.
• Сенсоры, микро- и наноэлектромеханические системы (MEMS, NEMS, BioMEMS).
• Моделирование приборов.

Технология и характеризация материалов для микро- и наноэлектроники:

• Si, SOI, SiGe, A³B⁵, A²B⁶.
• High-k, low-k диэлектрики.
• Металлические пленки в приборных структурах УБИС.
• 1D, 2D материалы.
• Магнитные материалы, наномагнетики.
• Материалы оптоэлектроники, фотовольтаики, метаматериалы.

Технологические процессы и перспективное технологическое оборудование микро- и наноэлектроники:

• Литография: иммерсионная, EUV, электронная и ионная литография, наноимпринт.
• Front-End of Line (FEOL) процессы для технологии УБИС.
• Back-End of Line (BEOL) процессы для технологии УБИС.
• Front-End of Line (FEOL) процессы для технологии УБИС.
• Технологии 3D-интеграции интегральных схем.
• Технология 2D материалов и структур для наноэлектроники (графен, MoS₂, WS₂ и др.
• Технологии 1D структур (нанопровода, нанотрубки).
• Технологии MEMS, NEMS, BioMEMS.
• Технологии изготовления сверхпроводящих приборов.

Метрология:

• Методы диагностики и управления технологическими процессами In situ (End-point детекторы, смарт-сенсоры).
• Методы контроля, диагностики и характеризации микро- и наноструктур.

Квантовая информатика:

• Квантовые компьютеры: теория и эксперимент.
• Квантовые измерения.
• Квантовые алгоритмы.
• Квантовая связь.
• Квантовые сенсоры.

   Оргкомитет конференции приветствует доклады, присланные от академического сообщества, университетов, отраслевой науки. Программа конференции будет включать в себя и приглашенные научные доклады. Программный комитет определит, в каком виде будет представлен научный доклад (устный или постер), однако пожелания авторов, конечно, будут учтены.

   Одностраничные тезисы докладов должны содержать оригинальные научные результаты и быть представлены на английском языке.

   Для представления устных докладов будет предоставлено оборудование для комьютерных презентаций (мультимедийный проектор, компьютер). Во избежание проблем с несовместимостью различных версий Microsoft PowerPoint предпочтительно использовать презентацию в формате PDF. Иллюстративный материал и сам доклад должны быть представлены на английском языке.

   Размер стенда для стендового доклада: 120 см х 120 см. Язык представления постеров - английский.

   Файлы тезисов докладов на ICMNE-2021 направлять по адресу icmne2021@gmail.com. Последний срок отправки тезисов 8 августа 2021 г.

   Если Вы планируете принять участие в конференции ICMNE-2021, то убедительная просьба прислать предварительные названия и списки авторов планируемых докладов до конца мая 2021 г. Это необходимо для поддержки конференции грантом РФФИ.